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且行且珍惜02
天津市滨海新区已经初步形成“物联网”产业链聚集地,未来还将在空港经济区、开发区、高新区建立物联网产学研示范区。目前,天津市只有天津大学一所院校设有该专业,难以满足区域经济发展的迫切需要。而据相关部门的估算,未来几年仅专业性的物联网系统设计师,在我国的需求量就将达到5万人。天津理工大学物联网工程专业实施联合培养方式。为了充分借鉴和利用物联网技术领域先进的教育资源,探索新的物联网工程专业人才培养模式,与台湾中华大学协商制定培养方案,采用3+1联合培养模式实施人才培养。该专业学生一、二年级在天津理工大学完成基础课和专业基础课的学习,三年级到台湾中华大学学习专业课程,四年级回到天津理工大学完成毕业设计及毕业论文答辩。学生修业期满,学习成绩符合我校毕业和授予学士学位条件者,颁发天津理工大学毕业证书、学位证书。
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毕业设计(论文)撰写规范毕业论文或设计说明书通常由标题、摘要、目录、前言、正文、结论、参考文献、附录、致谢等几部分构成,要求统一采用计算机打印。1.毕业论文的文稿结构与顺序题目:即标题,主要作用是概括整个论文的中心内容,因此,题目要确切、简短、精炼。摘要:简要介绍毕业设计(论文)的研究目的、方法、结果和结论,语言力求精炼。中文摘要一般在400字以内,字体为小四号宋体。英文摘要内容应与中文摘要相对应,字体为小四号Times New Roman;中英文摘要均要有关键词,一般为3—7个,各关键词之间要有分号。关键词的用语要规范。目录:应列出通篇文稿各组成部分的大小标题,并分清层次,逐项标注页码,包括参考文献、附录、图版、索引等附属部分的页次,以便读者查找。“目录”二字用三号字、黑体、居中书写,“目”与“录”之间空两格。目录的各章节应简明扼要,其中每章题目采用小三号宋体字,每节题目采用四号宋体字。要注明各章节起始页码,题目和页码间用“…………”相连。前言:文字以600字左右为宜。一般包括以下内容:①简单介绍本论文的研究领域。②对本论文研究主题范围内已有文献资料的评述。③说明本论文所要解决的问题及拟采用的研究手段和方法。正文:论文的正文是作者对自己的研究工作详细的表述。应包括以下内容:①理论分析部分。详细说明本课题的理论依据所使用的分析方法和计算方法等基本情况;指出所应用的分析方法、计算方法、实验方法等哪些是已有的,哪些是经过自己改进的,哪些是自己创造的。这一部分应以简练、明了的文字概略表述。②课题研究的方法与手段,分别以下面几种方法说明。如用实验方法研究课题,应具体说明实验用的装置、仪器、原材料等,并应对所有装置、仪器、原材料做出检验和标定。对实验的过程和操作方法,力求叙述得简明扼要,对实验结果的记录、分析,对人所共知的或细节性的内容不必过分详述。如用理论推导的手段和方法达到研究目的,这方面内容要精心组织,做到概念准确,判断推理符合客观事物的发展规律,要做到言之有序,言之有理,以论点为中枢,组织成完整而严谨的内容整体。如用调查研究的方法达到研究目的,调查目标、对象、范围、时间、地点、调查的过程和方法等内容的叙述要简练,对调查所提的样本、数据、新的发现等应详细说明,作为结论产生的依据。③在结果与讨论部分,应把那些必要而充分的数据、现象、样品、认识等作为分析的依据。在对结果做定性和定量分析时,应说明数据的处理方法以及误差分析,说明现象出现的条件,交代理论推导中认识的由来和发展,以使别人可以此为根据进行核实验证。对结果进行分析后所得到的结论和推论,也应说明其适用的条件和范围。结论:结论主要反映个人的研究工作,包括对整个研究工作进行归纳和综合而得出的总结;要写所得结果与已有结果的比较;要联系实际结果,指出它的学术意义或应用价值和在实际中推广应用的可能性;要写本课题研究中尚存在的问题,对进一步开展研究的见解与建议等。结论一般要写得概括、篇幅要短、要简单、明确,在措辞上要严密,易被人领会。参考文献:列出作者直接阅读过或在正文中被引用过的文献资料,本专业教科书不能作为参考文献。参考文献要另起一页,一律放在正文后,在文中要有引用标注。每篇文稿所查阅的文献数量必须在10篇以上。具体格式见模板。附录:在论文之后附上不便放进正文的重要数据、表格、公式、图纸、程序、译文等资料,供读者阅读论文时参考。致谢:对于毕业设计(论文)的指导教师,对毕业设计(论文)提过有益的建议或给予过帮助的老师、同学以及其他人,都应在论文的结尾部分书面致谢。2.毕业设计说明书的结构毕业设计的内容包括设计说明书和图纸两部分。毕业设计说明书是对毕业设计进行解释与说明的书面材料,在写法上应注意与论文的区别:(1)前言由设计的目的和意义、设计项目发展情况简介、设计原理及规模介绍三部分组成。(2)正文包括方案的论证和主要参数的计算。3.一些其它要求(1)工程设计类绘图量不少于折合图幅为0#号图纸5张,工程技术研究类绘图量不少于折合图幅为0#号图纸1张;所绘图纸必须反映出设计的内容。绘图方式可自行选择,图纸绘制要符合国家标准。图纸经审核后审核人要签字。(2)外语文献译文字数2000~3000字,要求译文与原文相符并与论文内容相关。4.撰写毕业论文时应注意的其它相关问题(1)使用的文字要规范,不可滥用、误用简化字、异体字;中文的标点要准确,标点符号要写在行内。(2)论文标题一律采用三号加黑宋体字,正文采用小四号宋体,英文及数字采用小四号Times New Roman字体;。(3)文章标题层次及同级标题序码,必须段落分明前后一致。(4)实验结果如已用图表示过一般不再列表。表中内容不必在正文中再做说明。(5)图:图题采用中文,字体为五号宋体。引用图应在图题右上角标出文献来源。图号以章为单位顺序编号。(6)表格:应有相应的表题和表序号,表题应写在表格上方正中,表序写在表题左方,不加标点,空一格接写表题,表题末尾不加标点。表格按章顺序编号,表内必须按规定的符号标注单位。(7)公式:应另起一行写在稿纸中央。一行写不完的公式,最好在等号处转行,也可在数学符号(如“+”、“-”号)处转行,数学符号应写在转行后的行首。公式的编号用圆括号括起放在公式右边行末,在公式和编号之间不加虚线。重复引用的公式不再另编新序号;公式序号必须连续,不得重复或跳缺。(8)列举参考文献资料必须注意:①所列举的参考文献应是正式出版物,包括期刊、书籍、论文集和会议文集。②列举参考文献的格式为:序号、作者姓名、书或文章名称、出版单位、出版时间、章节与页码等。③应按论文参考或引证的文献资料的先后顺序,依次列出。④在论文中应用参考文献处,应注明该文献的序号。附件2毕业设计(论文)装订要求由学院统一设计封面,页面设置统一用A4纸打印,然后到校印刷厂装订。毕业设计(论文)必须按以下顺序装订: 1.封面(包括课题名称、学生姓名、学生所在院(系)及专业、指导教师姓名、职称); 2.毕业设计(论文)任务书; 3.毕业设计(论文)开题报告表; 4.毕业设计(论文)评阅表; 5.毕业设计(论文)成绩考核表(附表7); 6.中文摘要、关键词; 7.英文摘要、关键词; 8.目录; 9.前言; 10.正文; 11.结论; 12.参考文献; 13.附录(含外文资料及中文译文); 14.谢辞。附件3 毕业设计(论文)文稿模板(本行不显示)天津工业大学毕业设计(论文)题目:(三号宋体,加黑)姓 名 学 院 专 业 指导教师 职 称 年 月 日 摘□□要(“摘要”之间空两格,采用三号字、黑体、居中,与内容空一行)□□×××××××××(内容采用小四号宋体)关键词:×××××;×××××;×××××;×××××;×××××采用小四号、宋体、接排 小四号、黑体、顶格ABSTRACT(采用三号字、Times New Roman字体、加黑、居中、与内容空一行)□□×××××××××(内容采用小四号Times New Roman字体)Key words:×××××;×××××;×××××;×××××;×××××采用小四号、Times New Roman字体、接排 小四号、Times New Roman、加黑、顶格目 录(三号、黑体、居中、目录两字空两格、与正文空一行)第一章(空两格)☆☆☆(四号、宋体)……………………………×1☆☆☆☆(小四号宋体)………………………………………………………×2☆☆☆☆………………………………………………………………………×3☆☆☆☆………………………………………………………………………×………………第四章(空两格)☆☆☆(四号、宋体)……………………………×1☆☆☆☆………………………………………………………………………×2☆☆☆☆………………………………………………………………………×………………参考文献(四号、宋体)………………………………………………×附录(四号、宋体)……………………………………………………×谢辞(四号、宋体)……………………………………………………×不标页码第一章□□☆☆☆☆☆(居中、小三号、黑体)1☆☆☆(四号、黑体、顶格)1☆☆☆(四号、黑体、顶格)□□☆☆☆☆☆☆☆☆☆正文(小四号、宋体) 宋体五号,居中,位于表上表1-3□□☆☆☆ ×××××× ××× ×××××× ××× (宋体五号,垂直居中) ×××××× ××× ×××(表与正文空一行)□□☆☆☆☆☆☆☆☆☆☆☆☆☆ (下一章另起一页) 第二章□□☆☆☆☆☆(居中、小三号、黑体)1☆☆☆(四号、黑体、顶格)1☆☆☆(四号、黑体、顶格)□□☆☆☆☆☆☆☆☆☆正文(小四号、宋体、空2格、用25倍行间距)图2-5□□×××组织结构图 宋体五号居中,位于图下 图与下文空一行正文开始标注页码;位置:页面底端(页脚);对齐方式:居中 参考文献(四号、黑体、顶格)[1]□□王传昌.高分子化工的研究对象.天津大学学报,1997,53(3):1~7 作者姓名 论文题目 杂志名称 出版年份\页码(阿拉伯数码)[2]□□王连芬层次分析法引论[M]北京:中国人民大学出版社,作者姓名 书名 出版地 出版者 出版年 [3]□□Joe Tidd[×],陈劲译创新管理----技术、市场与组织变革的集成清华大学出版社, 原著者姓名 国别 翻译者姓名 书名 出版者 出版年[4]□□姚光起.一种氧化锆材料的制备方法.中国专利,891056088,1980-07-03申请者 专利名 国家 专利号 授权日期[5]□□Pamela MFranklin,Catherine PKoshland,Donald Lucas,et al,Evaluation of combustion by-products of MTBE as a component of reformulated gasoline [J], Chemosphere, 2001, 42:861-872 (以上,如果需要两行的,第二行文字要位于序号的后边,与第一行文字对齐。中文的用五号宋体,外文的用五号Times New Roman字体。)
五月的史努比
本科毕业设计(论文) 文献综述 院 (系): 专 业: 班 级: 学生姓名: 学 号: 年 月 日 本科生毕业设计(论文)文献综述评价表 毕业设计(论文)题目 综述名称 注意综述名称(综述内容中不要出现本课题怎么样等等) 评阅教师姓名 职称 评 价 项 目 优 良 合格 不合格 综述结构 01 文献综述结构完整、符合格式规范 综述内容 02 能准确如实地阐述参考文献作者的论点和实验结果 03 文字通顺、精练、可读性和实用性强 04 反映题目所在知识领域内的新动态、新趋势、新水平、新原理、新技术等 参考文献 05 中、英文参考文献的类型和数量符合规定要求,格式符合规范 06 围绕所选毕业设计(论文)题目搜集文献 成绩 综合评语: 评阅教师(签字): 年 月 日 文献综述: 小四号宋 空一行 标题 二号黑居中 空一行 1 XXX 三号黑 XXX 小四号宋,行距20磅 1 XXXX 小三号黑 XXX 小四号宋,行距20磅 1 XXX 四号黑 XXX 小四号宋,行距20磅 空一行 2 XXXX 三号黑 (空1行) 参 考 文 献 (空1行) [要求按国标GB 7714—87《文后参考文献著录规则》书写,例如:] [1] 袁庆龙,候文义.Ni-P合金镀层组织形貌及显微硬度研究[J].太原理工大学学报,2001,32(1):51-53 .(宋体五号,行距固定值20磅) [2] 刘国钧,王连成.图书馆史研究[M].北京:高等教育出版社,1979:15-18,31. 下面的是我的文献综述 文献综述: FTO透明导电薄膜的溅射法制备 1 前言 为了更好的开展毕业论文及毕业实验工作,在查找和阅读与《DSSC用FTO透明导电玻璃的溅射法制备》相关的文献和资料,完成撰写了本文献综述。随着科技的日趋成熟,导电玻璃的制备方法也越来越成熟,种类也衍生得越来越多。 本文章将对国内外的制备方法,种类,发展现状及趋势,工艺性能,退火处理对性能的影响等方面做一简要介绍。 2透明导电玻璃的种类及制备方法简介 1透明导电玻璃的种类 1 1 TCO导电玻璃 TCO(Transparent Conductive Oxide)玻璃,即透明导电氧化物镀膜玻璃,是指在平板玻璃表面通过物理或化学镀膜方法均匀的镀上一层透明的导电氧化物薄膜而形成的组件主要包括铟、锡、锌、铬的氧化物及其复合多元氧化物薄膜材料。 2 ITO透明导电玻璃 ITO透明导电玻璃全称为氧化铟锡(Indium-Tin Oxide)透明导电膜玻璃,多通过ITO导电膜玻璃生产线,在高度净化的厂房环境中,利用平面磁控技术,在超薄玻璃上溅射氧化铟锡导电薄膜镀层并经高温退火处理得到的高技术产品。 ITO玻璃产品广泛地用于液晶显示器(LCD)、太阳能电池、微电子ITO导电膜玻璃、光电子和各种光学领域。 3FTO透明导电玻璃 FTO透明导电玻璃为掺杂氟的SnO2导电玻璃(SnO2:F),简称为FTO。FTO玻璃可以做为ITO导电玻璃的替换用品,广泛用于液晶显示屏,光催化,薄膜太阳能电池基底等方面,市场需求极大 FTO玻璃因其特殊性,在染料敏化太阳能电池,电致变色和光催化方面对其透光率和导电率都有很高的要求,其综合性能常用直属FTC来评价:FTC=T10/RS。T是薄膜的透光率,RS是薄膜的方阻值;在光学应用方面,则要求其对可见光有好的透射性和对红外有良好的反射性。对其基本要求是:①表面方阻低,②透光率高,③面积大、重量轻,④易加工、耐冲击。 2FTO透明导电玻璃制备方法 FTO透明导电玻璃的制备方法有,物理方法:溅射法、真空蒸发镀膜法、离子辅助沉积镀膜法等;化学方法:喷雾热解法、溶胶-凝胶法和化学气相沉积法等。目前适合批量生产且研发较多的有真空蒸发镀膜法、磁控溅射法、化学气相沉积法和喷雾热解等方法![1]化学气相沉积法和真空镀膜法制备的薄膜和玻璃基板的结合强度不够,溶胶-凝胶法制备的导电薄膜电阻较高。适合于批量生产且已经形成产业的工艺,只有磁控溅射法和溶胶-凝胶法。特别是,溅射法由于具有良好的可控性和易于获得大面积均匀的薄膜。 1磁控溅射法镀膜: 溅射镀膜(sputtering deposition)是指用离子轰击靶材表面,使靶材的原子被轰击出来,溅射产生的原子沉积在基体表面形成薄膜。溅射镀膜有二级、三级或四级溅射、磁控溅射、射频溅射、偏压溅射、反应溅射、离子束溅射等装置。 目前最常用的制备CoPt 磁性薄膜的方法是磁控溅射法。磁控溅射法是在高真空充入适量的氩气,在阴极(柱状靶或平面靶)和阳极(镀膜室壁) 之间施加几百K 直流电压,在镀膜室内产生磁控型异常辉光放电,使氩气发生电离。氩离子被阴极加速并轰击阴极靶表面,将靶材表面原子溅射出来沉积在基底表面上形成薄膜。通过更换不同材质的靶和控制不同的溅射时间,便可以获得不同材质和不同厚度的薄膜。磁控溅射法具有镀膜层与基材的结合力强、镀膜层致密、均匀等优点。 2真空蒸发镀膜: 真空蒸发镀膜(vacuum vapor deposition)是在工作压强低于10-2 Pa,用蒸发器加热物质使之汽化蒸发到基片,并在基片上沉积形成固态薄膜的一种工艺方法。真空蒸发的加热方式主要有电阻加热蒸发、电子束加热蒸发、高频加热蒸发和激光加热蒸发等。对于镀制透明导电氧化物薄膜而言,其真空蒸发镀膜工艺一般有三种途径:(1)直接蒸发氧化物;(2)采用反应蒸发镀,即在蒸发金属的同时通入氧气进行化学反应生成金属氧化物;(3)对蒸发金属镀膜进行氧化处理。 3溶胶-凝胶法: 溶胶-凝胶法(so1-gel)是近年来发展起来的能代替高温固相合成反应制备陶瓷、玻璃和许多固体薄膜材料的一种新方法。它将金属醇盐或无机盐经溶液、溶胶、凝胶而周化,再将凝胶低温处理变为氧化物的方法,是应用胶体化学原理制各无机材料的一种湿化学方法。溶胶-凝胶工艺是一种制备多元氧化物薄膜的常用方法。按工艺可分为浸涂法和旋涂法。浸涂法是将衬底浸人含有金属离子的前驱体溶液中,以均匀速度将其提拉出来,在含有水分的空气中发生水解和聚合反应,最后通过热处理形成所需薄膜;而旋涂法则是通过将前体溶液滴在衬底后旋转衬底获得湿膜。 4化学气相沉积法: 化学气相沉积(chemical vapor deposition,CVD)是反应物质在气态条件下发生化学反应,生成固态薄膜沉积在加热的固态衬底表面,是一种重要的薄膜制各方法。CVD法所选的反应体系必须满足:(1)在沉积温度下,反应物必须有足够的蒸汽压;(2)化学反应产物除了所需的沉积物为固态外,其余必须为气态;(3)沉积物的蒸汽压应足够低,以保证能较好地吸附在具有一定温度的基体上,但此法因必须制各具有高蒸发速率的铟锡前驱物而使生产成本较高。影响化学气相沉积薄膜的工艺参数很多,包括基体温度、气压、工作气体流量和反应物及其浓度等。 化学气相沉积技术的主要特点包括:设备及工艺简单、操作维护方便、灵活性强;适合在各种形状复杂的部件上沉积薄膜:由于设备简单,薄膜制备的成本也比较低。但是,薄膜的表面形貌很大程度上受到化学反应特性以及能量撒活方式的影响。 5喷雾热分解法: 喷雾热分解法是化学法成膜的一种,其过程与APCVD法比较相似。它是将前驱体溶液在高压载气的作用下雾化,然后输送到基片表面,在高温作用下,前驱体溶液发生一系列复杂的化学反应,在基片表面上得到需要的薄膜材料。而反应副产物一般是通过气相形式排出反应腔。常用的高压载气主要有:压缩空气、氮气、氩气等等。但是由于压缩空气中常含有大量的水蒸气,所以用氮气作为载气的情形比较多。如果需要在基片表面上发生分解反应,基片温度一般在300℃以上,在玻璃上制备FTO薄膜的基片温度一般为500℃。影响最终薄膜性能的喷涂参数有:载气压力、前驱体溶液流量、基片温度、喷口与基片的距离、喷枪移动速度等等[2]。在成膜过程中基材的温度、液体的流速、压缩气体的压力以及喷嘴到基材的距离等参数均可实现精确控制[3]。 3 FTO透明导电玻璃的研究现状、应用及发展趋势 1FTO透明导电玻璃的研究现状 自1907年Badeker首次报道了热氧化溅射的Cd薄膜生成半透明导电的CdO薄膜,引发了对透明导电氧化物(TCO)薄膜的研究。1950年前后出现了硬度高,化学稳定性好的SnO2基薄膜及综合光电性能优良的In2O3基薄膜,ZnO基薄膜的研究始于2O世纪80年代 。目前研究和应用较多的TCO薄膜主要有SnO2、In2O3。和ZnO基三大体系,其中以In203:Sn(ITO),SnO2 :F(FTO)和ZnO:Al(ZAO)最具代表性,这些薄膜具有高载流子浓度(1018~1021cm-3)和低电阻率(10-3~1O-4Ω•cm),且可见光透射率8O%~90%,使这些薄膜已被广泛应用于平面显示、建筑和太阳光伏能源系统中。[4] 已经商业化应用的TCO薄膜主要是In2O3Sn(ITO)和SnO2:F(FTO)2类,ITO由于其透明性好,电阻率低,易刻蚀和易低温制备等优点,一直是显示器领域中的首选TCO薄膜。FTO薄膜由于其化学稳定性好,生产设备简单,生产成本低等优点在节能视窗等建筑用大面积TCO薄膜中,具有很大的优势[5]。 Sn02:F(FTO)掺杂体系是一种n型半导体材料,表现出优良的电学和光学性能,并且耐腐蚀,耐高温,成本低,化学稳定性好,是现在研究较多,应用范围较广的一类TCO薄膜。苗莉等[6]采用喷雾热解法,以NH4F、SnCl2•2H20为原料,在普通玻璃衬底上制备出了方块电阻最低达到2Ω/口,可见光透光率为95%的FTO薄膜,且薄膜晶粒均匀,表面形貌平整致密。Yadav等[7]采用喷雾热解法,制备了不同厚度的FTO薄膜,最低电阻率达到91 X 10-4 Ω•cm。Moholkar等[8]采用喷雾热解法,制备了不同掺F浓度的FTO薄膜,研究了氟的掺杂浓度对Sn02薄膜的光学,结构和电学性能的影响。中国科学院等离子体物理研究所的戴松元小组[9、10]将FTO用于染料敏化太阳电池的透明电极,并获得较高的光电转换效率。 射频溅射: 射频溅射的基本原理是射频辉光放电。国内外射频溅射普遍选用的射频电源频率为13.56MHz,以防止射频信号与无线电信号的相互干扰。通常直流溅射的基本过程是,从阴极发出的电子,经过电场的加速后获得足够的能量,可以使气氛气体发生电离。正离子在电场作用下撞击阴极表面,溅射出阴极表面的原子、分子到衬底表面发生吸附、凝聚,最终成膜。 直流溅射不能用于绝缘体材料的薄膜制备,因为绝缘材料在受到正离子轰击时,靶材表面的正离子无法中和,使靶表面的电位逐渐升高,导致阴极靶与阳极问的电场减小,当靶表面电位上升到一定程度时,可以使气体无法电离,溅射无法进行。而射频溅射适合于任何一种类型的阻抗耦合,电极和靶材并不需要是导体,射频溅射非常适合于制备半导体、绝缘体等高熔点材料的薄膜。在靶材表面施加射频电压,当溅射处于上半周时,由于电子的质量比离子的质量小很多,故其迁移率很高,用很短时间就可以飞向靶面,中和其表面积累的正电荷,从而实现对绝缘材料的溅射,并且在靶表面又迅速积累起了大量的电子,使其表面因空间电荷而呈现负电位,导致在射频溅射正半周期,也可吸引离子轰击靶材。从而实现了在电压正、负半周期,均可溅射。磁场的作用是将电子与高密度等离子体束缚在靶材表面,可以提高溅射速度。[11] 用JPGF一450型射频磁控溅射系统在玻璃衬底上制备SnO2:F薄膜,系统的本底真空度为10-3Pa.溅射所用陶瓷靶是由纯度为99%SnO2和NH4F,粉末经混合、球磨后压制成坯,再经1300℃烧结而成,靶中NH4F的重量比是78%,用纯度为99.99% 的氩气和氧气作为工作气体,由可控阀门分别控制气体的流量。溅射过程中,控制真空室内氩气压强为1Pa,氧分压为5—5 Pa,靶与衬底间的距离为5cm.溅射功率为150W,溅射时间为25 min,衬底温度为100℃。用RIGAKU D/MAX—yA型x射线衍射(XRD)仪(CuKa辐射波长,154178 nm)测试样品的结构,用APHM一0190型原子力显微镜(AFM)观测样品的表面形貌,使用 rv一1900型紫外可见光分光光度计测量样品的吸收谱,使用激发源为325 nm的He—Cd激光器的光谱仪测量样品的室温光致发光谱,使用普通的万电表测试它的导电性(前提是尽量保持测量条件的一致性)。 2FTO透明导电玻璃的应用 FTO透明导电玻璃具有优良的光电性能,被广泛用于太阳能电池的窗口材料、低损耗光波导电材料及各种显示器和非晶硅太阳能电池中作为透明玻璃电极等,与生活息息相关。 1在薄膜太阳电池上的应用 太阳能电池是利用光伏效应,在半导体p-n结直接将太阳光的辐射能转化成电能的一种光电器件。TCO薄膜是太阳电池关键材料之一,可作为染料敏化太阳电池(dye-sensitized solar cells,DSCS)[12]等的透明电极,对它的要求是:具有低电阻率(方块电阻Rsh约为15Ω/□);高阳光辐射透过率,即吸收率与反射率要尽可能低;化学和力学稳定性好的特点。在薄膜太阳电池中,透明导电膜充当电极,具有太阳能直接透射到作用区域几乎不衰减、形成p-n结温度较低、低接触电阻、可同时作为防反射薄膜等优点。 2在显示器上的应用 显示器件能将外界事物的光、声、电等信息,经过变换处理,以图像、图形、数码、字符等适当形式加以显示。显示技术的发展方向是平板化。在众多平板显示器中,薄膜电致发光显示由于其主动发光、全固体化、耐冲击、视角大、适用温度宽、工序简单等优点,引起广泛关注,并发展迅速。FTO薄膜具有可见光透过率高、电阻率低、较好的耐蚀性和化学稳定性,因此被广泛用作平板显示器的透明电极。 3在气敏元件上的应用 气体传感器是把气体的物理、化学性质变换成易处理的光、电、磁等信号的转换元件。半导体气体传感器是采用金属氧化物或金属半导体氧化物材料做成的元件,与气体相互作用时产生表面吸附或反应,引起以载流子运动为特征的电导率或伏安特性或表面电位变化。二氧化锡薄膜气敏器件具有灵敏度高、响应速度和恢复速度快、功耗低等特点,更重要的是容易集成。随着微电子技术的发展,传感器不断向智能化、微型化方向发展。[13] 4在建筑幕墙玻璃及透明视窗上的应用 喷雾热解法制各的FTO薄膜能用于阳光节能玻璃,对可见光高透射,但对红外光高反射,其反射率大于70%。让阳光中可见光部分透过,而红外部分和远红外反射。阳光中的可见光部分对室内采光是必需的,但可将红外部分的热能辐射反射回去,能有效调节太阳光的入射和反射。利用FTO薄膜在可见光区的高透射性和对红外光的高反射性,可作为玻璃的防雾和防冰霜薄膜。 3 FTO透明导电玻璃的发展趋势 随着LCD的商品化、彩色化、大型化和TFT的驱动或太阳能电池的能量转变效率的提高,人们对透明导电氧化物(TCO)薄膜的要求越来越严格,至少需要满足如下条件: (1)导电性能好,电阻率较低; (2)可见光内透光率较高: (3)镀膜温度更接近室温,能大面积均匀地镀膜; (4)膜层加工性能好,可以进行高精度低损伤腐蚀; (5)热稳定性及耐酸、碱性优良,硬度高; (6)表面形状良好,没有针孔; (7)价格较低,可实现大规模工业化生产。 目前,TCO薄膜已普遍达到下列水平:膜厚为500 nm的情况下电阻率在10-4 Ω•cm数量级,在可见光区透光率达80%,载流子迁移率一般达到40cm2/(v•s)。虽然TCO薄膜的性能指标可以满足当前应用需要,但随着器件性能的不断提升,对TCO薄膜提出了更高的性能要求。一些学者提出了TCO薄膜发展的一个量化的前景指标:禁带宽度>3 eV,直流电阻率~5×10-5 Ω•cm,可见光段在自由电子作用下的吸收系数<2x103 cm-1,载流子迁移率>100 cm2/(v•s)。 几十年来,人们一直在努力提高透明导电薄膜的透明性和导电性。SnO2:F(TFO)透明导电薄膜由于其兼备低电阻,高的可见光透过率,近红外高的反射率,优良的膜强度和化学稳定性等优点,越来越受到人们的青睐,必将在平板显示器件、建筑物玻璃和气敏传感器等众多领域中得到更广泛的应用。利用溅射法制备FTO透明导电玻璃它的生产工艺简单,操作方便,利于控制。成本较低,原料易得,但在制备过程中NH4F加热分解放出有污染的氮氧化物和氨烟,这对以后商业化生产造成了很大的制约。所以对原料的改进和污染的控制方面还有待开发。 4 制备条件对膜结构及光电性能的影响 长安大学材料科学与工程学院段理等做了磁控溅射制备银掺杂ZnO薄膜结构及光电性质研究实验,发表了文献[14],并在文献14中得出了1——3的结论。 1制备条件对膜厚的影响 文献中采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备了银掺杂ZnO薄膜,当薄膜淀积时间从30rain延长到90min时,薄膜的厚度几乎按照线性关系从约270nm增加到820nm,即薄膜的淀积速率大致稳定在9nm/min左右,为匀速生长。溅射功率与膜厚呈线性增长,及沉淀速率与溅射功率大致呈线性关系。 2制备条件对膜结构的影响 晶体质量随溅射功率的增大而降低,随溅射气压的增大而降低。 3制备条件对膜光电性质的影响 在固定溅射总气压的条件下,增大氧分压可以增强薄膜的紫外发光强度,增大薄膜的载流子浓度。 4 退火对薄膜的影响 退火能显著提高薄膜晶体质量,并增强薄膜的PL发光强度和导电能力,其原因是退火能使银离子完成对锌离子的替代从而形成受主。[15] 5 退火后处理对膜结构与成分的影响 光敏薄膜的光电、形貌性能与退火处理密切相关,退火处理优化了薄膜表面形貌、减小了光学能隙、增大了薄膜的导电率和载流子迁移率。光敏薄膜性能的优化,有利于增大聚合物太阳电池的填充因子、开路电压和短路电流,对于提高其能量转换效率、改善器件光伏性能具有非常重要的意义。[16]分别对较低氧分压反应磁控溅射制备的 薄膜进行氧化性气氛和惰性气氛退火。通过XRD和SEM 分析,发现氧化性气氛退火薄膜为表面多孔的金红石结构 ,而惰性气氛退火薄膜表面较为致密,结构分析不仅观察到金红石结构的 ,还发现了四方结构的 。XPS表面分析进一步表明,氧化性气氛退火后,薄膜成分单一,未氧化的 完全氧化成稳定的 ,而且具有稳定结构的 薄膜表面吸附水很少。相对而言,惰性气氛退火后,薄膜表面 、 和 共存,表面化学吸附氧和吸附水较明显,薄膜的稳定性降低。[17] 6 FTO导电玻璃制备相关参数 根据范志新等所提出的理论表达式: 带入相关数据可得到,SnO2:F(FTO)的最佳掺杂含量为54%[18]通过对比总结,参考大量数据,选择溅射功率:100W,溅射压力:5Pa,溅射时间:5h,溅射靶距:38mm[13、19]做产品。进行相关参数的选择与优化。 7 参考文献 1、张志海, 热解法制备氟掺杂二氧化锡导电薄膜及其性能研究 合肥工业大学 2、汪振东, 玻璃基TiO<,2>-SiO<,2>/SnO<,2>:F薄膜的喷雾热分解法制备和表征 武汉理工大学 3、郝喜红, 喷雾热解法制备掺杂二氧化锡导电薄膜 西安建筑科技大学 4、张明福等, 透明导电氧化物薄膜研究的新进展 压电与声光 5、方俊 杨万莉, n型透明导电氧化物薄膜的研究新进展 陶瓷 6、苗莉等, SnO2:F导电薄膜的制备方法和性能表征 材料导报 7、Yadav A A,Masumdar E U,Moholkar A V,et a1.Effect of quantity of spraying solution on the properties of spray deposited fluorine doped tin oxide thin films[J].Physiea B:Condensed Matter,2009,404(12—13):1874 - 1877. 8、Moholkar A V,Pawar S M,Rajpure K Y,et a1.Effect of fluorine doping on highly transparent conductive spray deposited nanocrystalline tin oxide thin films[J].Applied Surface Science,2009,255(23):9358—9364. 9、Dai S,Wang K,Weng J,et a1.Design of DSC panel with efficiency more than 6%[J1.Solar Energy Materials and Solar Ceils,2005,85(3):447—455. 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文献综述是对某一方面的专题搜集大量情报资料后经综合分析而写成的一种学术论文, 它是科学文献的一种。 格式与写法 文献综述的格式与一般研究性论文的格式有所不同。这是因为研究性的论文注重研究的方法和结果,特别是阳性结果,而文献综述要求向读者介绍与主题有关的详细资料、动态、进展、展望以及对以上方面的评述。因此文献综述的格式相对多样,但总的来说,一般都包含以下四部分:即前言、主题、总结和参考文献。撰写文献综述时可按这四部分拟写提纲,在根据提纲进行撰写工。 前言部分,主要是说明写作的目的,介绍有关的概念及定义以及综述的范围,扼要说明有关主题的现状或争论焦点,使读者对全文要叙述的问题有一个初步的轮廓。 主题部分,是综述的主体,其写法多样,没有固定的格式。可按年代顺序综述,也可按不同的问题进行综述,还可按不同的观点进行比较综述,不管用那一种格式综述,都要将所搜集到的文献资料归纳、整理及分析比较,阐明有关主题的历史背景、现状和发展方向,以及对这些问题的评述,主题部分应特别注意代表性强、具有科学性和创造性的文献引用和评述。 总结部分,与研究性论文的小结有些类似,将全文主题进行扼要总结,对所综述的主题有研究的作者,最好能提出自己的见解。 参考文献虽然放在文末,但却是文献综述的重要组成部分。因为它不仅表示对被引用文献作者的尊重及引用文献的依据,而且为读者深入探讨有关问题提供了文献查找线索。因此,应认真对待。参考文献的编排应条目清楚,查找方便,内容准确无误。关于参考文献的使用方法,录著项目及格式与研究论文相同,不再重复。
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