斐索型移相式激光干涉仪研究论文

斐索型移相式激光干涉仪研究论文

4来展;激光干涉仪信号处理系统及纳米测量机控制系统的研究[D];中国计量科学研究院;2011年 5黄根旺;斐索型移相式激光干涉仪研究[D];哈尔滨工业大学;2011年 6朱楠;100MHz脉冲发

φ360mm激光平面干涉仪

[9]黄根旺.斐索型移相式激光干涉仪研究[J].哈尔滨工业大学.2011. [10]武旭华.φ300mm移相干涉仪的关键技术研究[J].南京理工大学.2007.DOI:10.7666/d.y1368526

激光干涉法微位移测量技术综述

涉仪0.1 >10 m 光栅尺 0.1～10 70～200 mm X 射线干涉仪 0.005 200 μm F-P 干涉仪 0.001 5 nm ～300 μm 纵观位移测量技术的发展历程,如果说扫描探针技术为高分辨力位移测量

数字式有源零差激光干涉仪的解调

2.有源零差相位解调法 有源零差相位解调法也称主动零差相位解调法,其实质是在干涉仪光路 中加入正弦调制器作为产生交流偏置的移相器,使之产生交变相移彳(f),即:

斐索型移相式激光干涉仪研究

硕士学位论文斐索型移相式激光干涉仪研究RESEARCHONFIZEAUPHASE-SHIFTINGLASERINTERFEROMETER黄根旺哈尔滨工业大学011年6月国内图书分类

斐索型移相式激光干涉仪的研究

首先,论文总结了国内外斐索型移相式激光干涉仪的发展现状,通过对斐 索移相干涉原理的深入研究,提出了口径为 100mm 的斐索型移相式激光干涉 仪设计方案。. 以

移相干涉技术国内外研究现状

偏振器所组成的同步移相干涉仪[5],以及其后的经过改进的基于微偏振阵列掩模的斐索性型动态干涉仪[6],O.Y.Kwon人利用正弦衍射光栅分光原理发明了点衍射干涉仪[7

移相式斐索中波红外干涉仪关键技术及应用研究

研究了移相式斐索中波红外干涉仪 的装调、大伸长量移相器的机构标定测试及中红外激光干涉系统杂散光等系列问题。建立了波长为4．4l眦，口径为矽100111In的

斐索型移相式激光干涉仪的研究可编辑

首先,论文总结了国内外斐索型移相式激光干涉仪的发展现状,通过对斐索移相干涉原理的深入研究,提出了口径为100mm相式激光干涉仪设计方案。. 以Ze序列界面

斐索型移相式激光干涉仪研究

硕士学位论文硕士学位论文斐索型移相式激光干涉仪研究RESEARCHONFIZEAUPHASE-SHIFTINGLASERINTERFEROMETER黄根旺黄根旺哈尔